第519章 頂級製程科學家
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在湖山接下來一周多時間,胡一亭全身心投入閃存顆粒設計之中。
因為湖研院研發的三項目前國際領先的新技術技改已經有了初步成果,所以之前對閃存顆粒進行了第一輪工程流片,已經拿出了數量極少的工程樣品,但目前湖研院的實驗室0.35微米製程還不成熟,嚐試實驗流片下,良品率低的要死,連續做了五張晶圓後經測試隻得到11片合格產品。
但好在隻要有了樣品就會讓講解變得直觀,胡一亭可以就樣品對湖研院和從北都央研院趕來參與研發的諸多工程師們進行有針對性的解釋,其中就有剛剛碩士畢業加入重光進行博士實習的曹玉暖,和已經在湖研院駐紮了一個星期的趙赫等北都趕來的芯片設計人員,當然還有從成光所過來的專家們,而還未離開湖山的馬所也在其中,得知胡一亭今天要對國內第一次0.35微米工程流片進行技術講解,他特意推遲了回成都的日程。
湖研院裏有內部鍋爐,暖氣片成天都燒的滾燙,會議室熱的讓人冒汗,胡一亭隻穿了件白長袖襯衫,單薄的羊毛西褲站在會議室前,對著電腦將樣品在電子顯微鏡下拍攝的一張張照片用幻燈機投在屏幕上,芯片上以納米為單位的微結構被放大如鬥,
他昨晚在辦公室睡了一宿,此刻精神飽滿,對著長桌兩側三十多雙睿智專注的眼神,侃侃而談道:“這些照片大家開會前都已經看過,對柵極埋入層的形貌結構心裏也都有數了,我來給大家分析一下,看看和大家自己做出的分析是不是一樣。”
“首先我認為,我們這次工程流片之所以會出現大批不能讀寫的次品,良品率極低,主要原因雖然有湖研院目前的0.35微米實驗製程不成熟,但再怎麽不成熟,良品率也不能這麽低,真正搞出次品的原因是因為我們的埋入晶圓的柵極擴散層形態異常。”
會議室裏大家都鬆了口氣,尤其是目前正在攻關實驗室0.35微米製程的工程師們,都覺得胡一亭這句話實在是對他們的最大安慰。
“大家看這張電鏡探傷圖,左邊是這次的良品,右邊是這次的不合格品,左邊正常形態下的埋入層擴散結構和右邊的區別是很明顯的,我知道大家現在一定在想,為什麽會出現右邊這些次品?
問題出在哪呢?我來告訴大家,根據我的判斷,這是因為我們擴散層離子注入時,因為注入機的真空度不夠,從而引起埋入擴散層的氧化膜厚度中間薄周邊厚,薄的部分隔離差,造成中間漏電。”
台下工程師們有的表情恍然大悟,有的則是興奮地點頭,表示不出所料,胡一亭的判斷和他們一樣。
胡一亭繼續道:“這個問題我不展開細說,前段時間我不在,做壞了情有可原,反正總算還鍛煉了隊伍,提高了大家攻關克難的經驗,我認為失敗也是好事,給了我們總結的經驗嘛,要是不出事,我倒覺不好,那樣一來大家反而什麽都學不到。”
胡一亭繼續道:“之前經過奚所與長沙光電設備研究所也就是電科48所緊急協調,他們立刻派了團隊,並帶來了他們目前正在研發中的新型離子注入機的改良版真空部件,目前正在對我們的舊型號設備進行升級改裝,從他們給出的新設備真空參數來看,改裝升級以後應該就能馬上解決問題,過幾天第二批工程流片出來以後,大家對著電鏡圖片就能看出區別了。”
在座的工程師們有的心裏還是懸著,擔心這次改裝升級要是依然解決不了問題可怎麽辦呢,但大多數人都對胡一亭心服口服,覺得他能一眼看出問題的關鍵已經不簡單,而又能夠立刻尋找出解決問題的答案,這就更難了,這得是多麽專業多麽老道的經驗啊!這哪是一個18歲的青年!簡直像一隻在製程工藝研發裏泡了多年的狐狸精。
胡一亭不管大家怎麽想,繼續按動鼠標,把投影儀上的圖片換了一張,繼續講解道:“這張圖很經典啊,沒想到我這輩子還能看見這個形態,大家記住,根據我十幾年的製程經驗判斷,這是柵鄔化矽附著不良的典型特征,是多晶矽生長工藝的問題,解決方案是改進柵鄔化矽生長前的清洗工藝,從而消除附著不良的現象。”
胡一亭說完,大家先是一副原來如此的表情,接下來都愣住了,隨即會議室裏爆發出一陣不大的笑聲,大家都麵帶微笑,以為胡一亭在開玩笑。
胡一亭也是一愣,這才反應過來自己口誤了,趕緊解嘲:“我開個玩笑,大家都知道我才18歲嘛,哈哈……哈哈……哈……”他笑的尷尬,越解釋越覺得像個冷笑話。
旁邊坐著的奚龍山笑的兩眼眯成一條線,心說胡一亭這冷笑話大概是想嘲諷那些沒看出關鍵點的人吧,說實話自己雖然看出問題來了,但真的不能第一時間確定原因是出在柵鄔化矽生長前的清洗工藝上,隻是有所懷疑罷了,從這一點上說,胡一亭真像是個有十幾年製程經驗的頂級科學家!眼光又老又毒!
接著胡一亭繼續給大家講解今後製程工藝需要改進的地方和具體方法,大家聽得津津有味,飛快地記著筆記,人人都覺得眼前被胡一亭打開了一扇嶄新的大門,而這道門是以前一直苦於西方技術封鎖而始終不得窺其究竟的!在場科學家和工程師們覺得自己仿佛在聽世界級實驗室出來的頂級專家傳授絕密技術,而荒唐之處卻在於,這位專家今年嚴格來說還不到18歲!
但這些技術對於胡一亭來說實在是老的不能再老了,都是他當年在大學實驗室裏就曾經無數次遇見過的毛病,後世的解決方案自然是成熟的不能再成熟了,因此他說的飛快,接著又換了圖片,繼續道:“大家看,這是多晶矽膜在刻蝕後的照片,上麵這些pitting,就是蝕損斑或者叫凹痕,大家怎麽看這些疤?”
見大家都不說話,胡一亭隻得趕緊解釋:“從形態上分析,這是幹法刻蝕餘量不夠造成的,影響刻蝕條件的因素很多,而且我們的0.35微米製程工藝還在進一步調試,光刻機新鏡頭與雙工件台的配合還沒有達到完美,這個問題隻要我們的三大技改項目得到完美實現後,就能逐步解決,所以大家放心,這個屬於公藝過渡期的形態,沒什麽毛病。”
會議室裏靜悄悄的,大家有的點頭,有的凝思,像看神祗一樣,死死盯著胡一亭倜儻解說的身影。
元旦後曹玉暖加入了重光,進行在讀博士實習,她今天是頭一回再次見到胡一亭,見自己的夢中情人依舊這麽銳不可擋舉重若輕,像一條可以輕鬆破開科學之海上厚厚冰層的龐大破冰船,學霸之風比之當年研發遊影霸王協處理器時有過之而無不及。
麵對自己念念不忘的白馬王子,曹玉暖的表達方式熱情極了,她開始不斷在會中提出技術問題,直接把胡一亭當成了自己的博導夏老來索問。
而胡一亭他覺得,曹玉暖的問題雖然有些比較簡單,但有人提問也是好事,起碼也讓那些不好意思提問的人得到了答案,因此對她知無不言言無不盡。
曹玉暖覺得通過提問,自己和胡一亭的關係似乎重又回到了那個大風天,那個木葉飛舞的校園,關係又重回溫馨和親近。
她想,童牧能聽得懂胡一亭的話嗎?肯定不能!隻有我才真正了解胡一亭呢……(m.101novel.com)