第259章 突破14nm光刻機工藝

字數:4796   加入書籤

A+A-




    華達九天興師動眾的招聘啟事並沒有引起業界轟動,因為eda的盤子實在是太小了。

    2021年,全球半導體產業銷售額達5188億美元,然而作為芯片基礎的eda產業卻隻有區區70億美元左右,簡直令人難以置信。

    而中國eda銷售額在這70億美元裏麵,更是連1%都沒有占到。

    這種情況下,外國巨頭根本懶得關心中國eda的發展情況。

    就算再折騰又能怎麽樣?

    而且話說回來了,要知道任何eda軟件都是和市場掛鉤的,eda是上遊廠商、設計廠商、製造廠商、封測廠商合作的產物,任何一個環節落後或缺失,都會對eda工具有影響。

    舉個最簡單的例子,國外最先進的eda軟件可以設計、仿真、驗證5n的芯片,國內的eda呢?目前還徘徊在28nm左右,差距就像地球到月球這麽遠。

    就在國外eda企業不以為然之際,中國的eda軟件,在時隔三十年後,再次揚帆起航了。

    ……

    4月18號上午九點,中海自貿區張東路1525號。

    這裏是中海微電子裝備有限公司(smee)總部,同時中星微電子裝備股份有限公司(xhzz)研發基地也設立在這裏。

    此時,單層麵積超過5000平方米的大型實驗室裏,無數身穿白色無塵服的研究員正在忙碌著,還有很多類人機器人也在自由的穿梭其中,帶給人一種科幻大片現場的視覺衝擊!

    就在這時,實驗室挑高的二層參觀台上湧出一大群人,老中青都有。

    被眾人簇擁在最前麵的三人分別是gee董事長孫立群以及陳序。

    孫立群介紹道:“這些機器人全部是星海科技研發製造的特種工業機器人……

    光源係統、攝像光學係統、調焦掃描係統、視頻采集係統和監測軟件等等,也是由星海科技獨家研發,並且擁有全部知識產權……”

    “了不起啊!難怪網上都說星海是中國科技的未來之星。”

    陪同著一起超前的陳序,謙虛道:“總l過獎了,我們還有很多不足的地步。”

    首長親切的拍拍他肩膀,然後順著參觀台上設立的透明甬道朝前走去,邊走邊看,同時問道:“那目前主要還有哪些困難呢?”

    “主要就是機械精度方麵有待提高…它裏麵有兩個同步運動的工件台,一個載底片,一個載膠片,兩者需要始終同步,誤差要在2nm以下,而兩個工作台由靜到動,加速度跟導彈發射差不多……”

    孫立群搶著介紹了一番後,首長轉頭問右側的陳序,“小陳你估計多長時間能研製成功?”

    陳序組織了一下語言說:“如果一切順利的話,大概今年底吧!”

    說完陳序又跟到:“因為是第一次做沒經驗,再加上一些關鍵性的零部件被卡了脖子,隻能通過自主研發。不過等到7nm時應該會很輕鬆。”

    首長聞言有些訝異道:“7nm?”

    孫立群再次搶著介紹道:“總l您沒聽錯,正是7nm。

    我們和星海在研發14n的同時也在布局7n技術跟國外的稍稍有些不同……”

    首長聽完後點點頭,再次伸手拍拍陳序的手臂,“嗯,你是好樣的!”

    陳序被誇的有些不好意思了,嗬嗬笑著沒說話。

    一個小時後,下來考察調研的領導及隨行人員乘坐考斯特離開了,陳序回到辦公室直接癱坐在了沙發裏,說:“感覺比做十天實驗還累。”

    跟進來的中星微電子總負責人張海春,笑嗬嗬道:“一般搞學術的人,都不怎麽喜歡這種場合,等以後習慣了應該會好一些。”

    張海春是光刻機領域的大牛級人物,曾先後在asee聘請為高級總工程師,不過後來因為某些原因離職了。

    他在國際學術圈的地位比周東林還牛掰。

    “嗬嗬,也許吧。”陳序說著坐起來點了一根煙,“超精密工件台的實驗怎麽樣了?”

    “不怎麽理想,目前實驗最多隻能到5n還有一定的差距,德國跟日苯那邊……”

    陳序聽了一會,然後一把把香煙摁滅,起身道:“走,帶我過去看看。”

    光刻機和別的設備不一樣,它裏麵大部分零部件都需要專門定製。

    什麽意思呢,就是你想在市場上買配件來組裝都不可能。

    而越高端定製的比例也越高,到了10nm這個級別,裏麵90%以上都是定製的。

    且不是你想定製就能定製的,得看上遊廠商願不願意接你的訂單。

    他之前花高價從荷蘭買配件,就是因為那些配件如果全部自己生產的話,先不說短時間能不能生產出來,就算能做出來,價格也要貴上十倍都不止!

    不過以後不行了,歐美日韓對星海進行了全麵的技術封鎖,荷蘭那邊已經pass掉xhzz的訂單申請。

    不僅僅是荷蘭,德國跟日苯那邊的零部件訂單也毀約了,導致最關鍵的超精密工件台一直不能達到滿意要求。

    來到實驗室,陳序控製機器人調校超精密工件台,而小白則根據電腦上的反饋結果重新編寫控製程序。

    一遍、兩遍、十遍……

    這一做就是十二小時,餓的實在撐不住了才出去吃一點,然後繼續全身心的投入到實驗中來。

    超精密機械的調校是非常耗費時間精力的,像米國cymer、德國蔡司的工程師對每一個部件的調校次數都有可能高達十年以上。

    當然,陳序不可能像那些工程師一樣,花費十年去調校一個零部件,也不需要。

    小白會幫他省去百分之九十九的步驟。

    半個月後,經過陳序廢寢忘食的工作,把超精密工件台的精度調校到了3nm。

    這是一個具有裏程碑紀念意義的時刻!

    因為3n光刻機的製備工藝要求。

    從這一刻起,中國算是全麵掌握了14nm光刻機的製造技術。

    上百名工程師全部圍了過來,看著模擬機上的超精密工件台高速運行著,很多人眼睛裏泛起了淚花。

    偌大的實驗室裏響起了熱烈的掌聲。

    “啪啪啪……”

    多少年了,中國一直嚷著製造“中國芯”,但是因為造不出來尖端光刻機,這個夢想隻能停留在幻想之中。

    在機械、通訊設備、企業金融、航空航天等核心領域,不得不大量采用國外的芯片。

    而眾所周知,芯片是可以開後門的,而且是非常容易的事情。

    最危險的就是隻要不拔電池,通過芯片後門你所有的動作、所有的信息別人都可以輕易獲取,而且你還不知道。

    舉個最簡單的例子,智能手機一般都裝有gps芯片,即使關機了也可以定位。

    張海春博士看著電腦上運行的數據,膀激動的說:“好啊…好!實在是太好了!”

    陳序麵帶笑容說:“還是差了點!不過差不多到極限了,想達到10nm的製備工藝,隻能從硬件上想辦法了。”

    “已經非常厲害了……”

    現場工程師個個都以崇拜的眼神看著陳序。

    很快smee的董事長孫立群,以及魯嘉榮博士都是聞訊趕來,看到運行數據都是興奮的恨不得手舞足蹈。

    “實在是太好了!”孫立群說著朝實驗室大門口跑去了,看樣子是去打電話給上級部門報喜了。

    魯嘉榮博士激動到眼淚都下來了,緊緊摟著陳序的肩膀,看著模擬機上高速運轉的工件台,語無倫次道:“陳工……你…好啊……”