第642章 新一代光刻機

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    渝州大學城的建設,是渝州打造科技產業高地的一個重大舉措,為的就是形成產學研體係,讓渝州的經濟從傳統的工業經濟向著知識經濟進行轉型。
    用現代的科技知識來賦能傳統的工業往更高水平進行發展。
    聯合大學的是渝州大學城規劃當中的一所很是重要的學校。
    渝州大學城自然不是新劃一塊地完全全新建設,實際上在之前的時候,這片區域內,就已經有大學了。
    渝州應用技術大學就坐落在這裏。
    劃定這邊作為大學城,很重要的一個原因,這裏地方夠寬敞。
    渝州應用技術大學在這邊進行建校,也看中的,就是這邊麵積足夠大。
    另外,離城市也比較近。
    現在雖然是郊區,可過上幾年時間,就會迅速的發展成為城市。
    然後市裏麵在規劃大學城的時候,實際上也有一些其他的選擇。
    陳懷慶建議啊,要把大學城給安排在城市的邊緣位置。
    在十年後,大學城要發展成為城市的中心位置。
    為什麽要讓大學城位於城市之中呢?
    很簡單的一個原因,那就是大學城在偏遠的地方,那就沒有辦法和城市經濟有機的聯係在一起了。
    畢竟建設大學城就是想要形成集中的智力資源。
    智力資源實際上屬於人才資源的一種,人得要聚集在一起,才是能夠展現出來強大的。
    聯合大學在整個大學城的高校建設當中,屬於相當快速的,從決定搞到修建好,用時上極其的短。
    錢到位,市裏麵也是全力的支持。
    聯合大學現在的發展勢頭上麵相當之迅猛。
    現在也就是沒有一個大學排名的榜單,不然的話,聯合大學的排名,肯定會接連不斷的上漲。
    特別在學術這塊。
    陳懷慶一直以來都是覺得,大學更加適合從事基礎性的研究工作。
    因為這和大學的屬性是相互匹配的。
    基礎性研究需要花費很多的時間,也需要超高的耐心。
    不僅僅是研究人員得有耐心,決策者也是需要有耐心。
    因為很多的基礎研究,數年沒有成果,那都算短的。有的十幾年的堅持,依舊沒有什麽成果出來。
    大學裏麵,有著相當多的便宜甚至可以稱之為免費的人力資源可以使用。
    科研民工好像特製的那些在讀博士生。
    此時華國的在讀博士生並不算是多,每一名博士生都屬於相當精貴的存在。
    讀博並不是為了提升自己的學曆來為找上一份好工作作為籌碼。
    此時的人讀博,那真的屬於準備投身於科研事業才做出的選擇。
    有這些優秀的智力資源可以使用,可以在很大程度上麵降低在基礎研究領域的經費投入。
    當然了,最為重要的一點,還能夠順便的培養一下人才。
    像是墨塔技術研究院,那全部都是從事應用技術方麵的研究,出成果那是相當快速的。
    基本長者幾個月,短者十幾天就能夠把可商業化應用的成果給搞出來。
    可以每年花費的經費,也是相當的感人。
    要不是研發出來的技術有著超強的變現能力,都得要承受不住了。
    除了聯合大學的事情之外,另外一件事情,也是讓陳懷慶很是在意。
    那就是ota400光刻機。
    ota400光刻機是墨塔微電的最新之作,大量采購了國外的一些零部件,在一些核心部件上麵,ota400也是有國產的部件。
    相比起ota800光刻機相比,ota400光刻機在一開始的時候,零部件的國產化率就要高出很多。
    像是ota800光刻機在剛出的時候,國產化率隻有百分之二十幾,而到了現在,ota400光刻機的國產化率直接是百分之四十起步的。
    提升了十幾個百分點。
    這無疑來講,是一個相當巨大的進步。
    ota400光刻機屬於第二代光刻機,是ota800的升級版產品。
    可以實現最小400n的工藝節點,當然,通過特殊的工藝製程的話,可以生產更低節點工藝的芯片。
    隻不過在成本上麵,可能會是稍稍貴了那麽些。
    光刻機最為重要的,就是光源。
    現在采用的光源都屬於深紫外光。
    第一代光刻機采用的波長436n的gine光源,現在的光刻機采用波長365n的iine光源。
    下一代光源也已經確定了,是波長248n的krf光源。
    第四代的時候,采用波長193n的arf光源。
    但是,已經有一個新的概念被提了出來,那就是極紫外光刻機。
    這可能很多人都不熟悉,換上一個說法:euv光刻機。每一次光源的改進,都是能夠顯著提升光刻機所能實現的最小工藝節點。
    隻不過極紫外光刻機這個新概念被提了出來,但是卻沒有企業往這個上麵投錢。
    很簡單的原因,極紫外光想要作為光源用到光刻上麵,技術難度實在有著些過於的高了些。
    反正,這屬於一個概念性的東西。
    市場上麵的光刻機,還依舊的能夠滿足需求,大家對於這極紫外光刻機並不急著要。
    實際上,as在1999年的時候才開始進行euv光刻機的研發工作。
    計劃是通過五年時間,在2004年的時候,就推出euv光刻機產品。
    但是到了2010年才是搞出第一台euv光刻機原型機,2016年才是向下遊客戶正式供貨。
    憑借著euv光刻機,as也是一舉成為全球光刻機領域當之無愧的最大巨頭。
    光源對於光刻機的重要性,實在過於的重要了一些。
    陳懷慶也是看過一些報道,說華國在極紫外光源上麵是有著突破的。
    也不知道具體情況到底如何。
    網絡上麵的新聞,這很多都隻是看上一個樂就行。
    除了光源之外,工作台和新的光刻技術創新,也是能夠提升最小工藝節點和生產效率以及產品良品率。
    此時大家對極紫外光刻機沒有什麽信心,可是陳懷慶卻知道,這東西真的能行啊!
    所以陳懷慶已經要求墨塔微電研發euv光刻機,並且在投入上麵,還不小。
    首先就是在光源技術上麵,得要先研究出來大功率的極紫外光源才行。
    陳懷慶覺得,肯定沒有什麽問題的。
    他可是記得,米國一直在推激光武器的概念。
    然後華國的激光武器都已經可以實戰化了,然後米國一下子就啞火了。
    自己提出來的概念,怎麽華國給先搞了出來?
    極紫外光刻機是米國那邊提出來的,為了打壓霓虹的半導體行業,對於極紫外光刻機的研究,根本就不要霓虹參與進來。
    事實上,靠著美歐的能力,整個研究顯得很吃力。
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