第63章 隨便一逛就全是問題

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    王向中聞言,也是隻能無奈地笑了笑,畢竟他是從未來穿越回來的,加上比對方多了十幾年的見識,自然是占據先天優勢,這一點他也不得不承認。
    金圓圓見到王向中一臉無奈之色,便以為自己獲得了大勝利,便趁機乘勝追擊道:“為了補償我的精神損失,你快給我講講詳細的工藝流程。”
    “不可能!”金圓圓下意識地喊出聲,臉色更是變得難看起來,“為了這個項目,我在圖書館泡了足足一個月,這一個月我都沒有找到任何有關的知識!”
    這個年代互聯網資料匱乏,人才凋敝,就拿金圓圓他們這些博士研究生來說,因為一直呆在國內進行學習的緣故,壓根就沒有好的項目和機會去真正地認識芯片產業的相關知識,而一般書籍上的資料往往偏向科普型或者隻在計算機領域有詳細解釋,而對生產線上實際用到的工藝模棱兩可,甚至隻是一筆帶過。
    這下王向中也頭疼了,看到對方那表情,很明顯是真的有所研究,不像是在強裝門麵的樣子。
    為了平息對方心中的怨念,王向中也隻能隨口扯了個謊:“算了,我也不瞞你了,我表哥是芯片工程師,這些都是他告訴我的。”
    王向中的話,著實是給金圓圓吃了一驚。
    反應器中產生的氣態混合物還需要進一步提純,需要分解過濾矽粉,冷凝三氯氫矽、四氯化矽,而氫氣,無水氯化氫返回到反應中或排放到大氣中。然後通過多級精餾分解冷凝物,淨化三氯氫矽。
    淨化後的三氯氫矽采用高溫還原工藝,高純度的三氯氫矽與氫氣發生還原反應,在1100攝氏度的高溫下,還原沉積而生成多晶矽,這些多晶矽將會沉積在電加熱矽池矽棒的表麵上,從而得到真正高精度純矽。
    “得到了高精度純矽,最後一步就是通過柴可拉斯基法,也就是俗稱的直拉法,將矽晶種浸入矽熔融液,通過提拉旋轉,讓單晶矽在晶種上凝固成型,得到晶圓的初步工業品,矽棒。”王向中繼續解釋道。
    “這一步一般使用天然氣,”他指著牆壁上的管道說道,“在石英坩堝裏,用天然氣加熱的效果會更好一些。”
    正當他說著之時,隻見管道竟然開始晃動起來,而且晃動幅度還不小,發出的乒乓聲音也把兩人嚇了一跳。
    “什麽情況?”王向中嚇得馬上拉起金圓圓就跑出幾十米遠。
    兩人有些驚魂不定地看著那條管道,那管道晃動了好一會,才逐漸停下來。尤其是金圓圓,此刻更是臉色有些蒼白,心髒一直在劇烈地跳動,完全停不下來。
    畢竟剛才站在天然氣管道前,兩人都下意識地以為管道要爆炸了。
    王向中站在遠處觀察了好久,便看見兩個晶華的員工抱著兩根管道,有說有笑地從廠房裏走了出來。
    赫然一看對方手上的管道,可不就是熟悉的天然氣管道嗎?
    看到這一幕,王向中才鬆了一口氣,連忙安慰一旁的金圓圓道:“沒事了,剛才那動靜,估計就是裏麵的人在拆管道。”
    聽到王向中的解釋,金圓圓的懸著的心才算是放了下來。此時的她渾身都已經被冷汗打濕,右手捂在胸口上,隨著呼吸一起一伏。
    不過這兩個員工的行為,也讓王向中再次深深皺了皺眉頭。雖然不知道因為什麽情況要更換天然氣管道,但明顯看得出來,這樣的行為根本不符合廠房安全條例。
    提純單晶矽這一步驟中所用的天然氣的純度必須要達標,否則容易在單晶矽棒中混入雜質,直接影響到最後的成品質量。
    就這樣小小地逛了一圈,竟然就發現了這麽多生產方麵的問題,這要是能通過驗收才怪了!
    “接下來的生產工藝就不在這裏了,我們可能還要往前麵走走。”王向中笑道。
    兩人跟著運送矽錠的小車前行,很快就來到了流化床廠房。
    不過這個廠房不像之前的電爐廠房,並沒有透明的玻璃窗戶,因此金圓圓也隻能遺憾地聽著王向中幹巴巴地講流程。
    見到對方那難掩激動的神色,王向中也是點了點頭,他自然是不會藏拙,便透過玻璃窗戶,指向房間裏那尊又粗又壯的筒狀機器:“你看那個像高爐的東西,那個不是高爐,是電弧爐……”
    電弧爐,顧名思義,就是使用電弧作為加熱手段的爐子,在矽片製造流程裏,通常用於還原矽石。
    矽石的主要成分是二氧化矽,其二氧化矽的含量遠超一般的沙子,因此也是還原矽單質的不二選擇。
    將煤炭和木屑以及矽石以大約二比一的比例加入電弧爐中,通過石墨電極加熱到約2000攝氏度的高溫,煤炭和氧化矽就會發生還原反應,生成一氧化碳和碳化矽雜質,以及剩下的單質矽錠。
    “原來如此,”聽到這番解釋,金圓圓也是露出了渴求的神色,急切問道:“那接下來呢?”
    她是真的缺失這一塊的內容,也的確是急需補充這些最基礎的理論。
    聽到這話,金圓圓的臉色才算是好了一些,旋即又有些不平衡地撅嘴道:“難怪你是有後台的人。”
    “為了滿足單晶矽的純度要求,還需要對矽錠進行進一步提純。”
    在流化床反應器中,將矽錠和無水氯化氫進行進一步反應,在300攝氏度的條件下,兩者會進行反應,生成擬溶解的三氯氫矽和其它氣態雜質。
    王向中倒是沒有理會金圓圓的驚歎,隻是自顧自地解釋道:“先暫且不提電弧爐內煤炭和木屑氧化所帶來的二氧化硫雜質,在提純這一步過程中用到的鹽酸,也就是氯化氫,是一種易揮發的氣體,它們離芯片製程廠房隻有寥寥數千米,一旦這些氯化氫分子通過通風管道進入淨室,後果不堪設想。”
    “不是,我指的是,你為什麽懂這麽多?”金圓圓再也頂不住內心中複雜的不平衡和好奇心,一句質疑的話脫口而出。
    芯片產業涉及的領域太多了,材料、化學、物理、計算機等等,作為計算機科學的博士研究生而言,要真正理解化工工藝、材料工藝等問題,必須是深入在一線工作的工程師崗位耕耘多年,才會有其它知識的儲備,所以為了培養手下博士研究生的見識和知識量,葉誌華這才從手下挑出了自己最得意的三位愛徒,前來晶華晶圓廠取經。
    可眼前尚才十八歲的王向中,怎麽可能懂得這麽多?
    這實在是太不符合常理了!她當時可是搜遍了整個水木大學理科圖書館的半導體相關書籍,也沒有找到有關化工工藝的資料。
    王向中見到金圓圓那副見鬼的表情,當下一眼便看穿了她心中所想,也隻是搖頭說道:“當然是從書上看到的啊。”
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