會議城市在羊城。
    地點放在羊城奧體中心，可容納8萬人，擠一擠十萬人也是可以的。
    具體的後勤保證什麽，陳諾聽的索然無味，便離開了。
    接下來的時間裏，陳諾繼續刷生物科學和神經科學、腦科學的書本，如此過了兩三天後，那台吃灰的7nm光刻機終於運到了中科院的一個研究所的無塵車間內。
    陳諾倒是想運到未來科技實驗室，可這玩意有近200噸，他們實驗室可沒地方安置這個龐然大物。
    “怎麽樣，第一次看到這個大家夥震撼吧！”
    周正峰指著光刻機笑了。
    為了將這台光刻機從江城運到京都，一路上可是拆了好幾個收費站，足足花了六七天時間才弄到這裏來。
    陳諾圍著這台號稱人類智慧集大成的產物轉了幾圈，外部有著真空封閉的隔板，什麽也看不到。
    “陳教授，我們運過來簡單，但這一路上的震動等等，肯定會有很大的誤差，不經過一段時間的調試，是無法使用的。”
    “浪費那個時間幹嘛，調試好了也要被我拆掉的。”
    陳諾擺了擺手：“隻要能啟動就行。”
    “行了，您該忙啥忙啥吧，這裏交給我。對了，再給我找幾個身強力壯的人來，這玩意拆起來麻煩，下午兩點前報到就行。”
    周正峰咧嘴笑了一下後，轉身就走。
    等到所有人離去後，陳諾突然道：“一號，接管光刻機係統，切斷信號。”
    “收到，教授！”
    “教授，已經接管，完成操作！”
    幾秒鍾後，一號就傳來了回應，效率相當的高。
    陳諾拿過旁邊的操作說明手冊開啟學神附身卡看了起來。
    研究的時間相當的快，當他看完操作手冊後，不得不感歎光刻機製造商的牛逼，還有比製造商更牛逼的設計師們。
    隻是再精密，今天也難逃被他拆掉的厄運。
    第一天，陳諾將內部封閉框架等給拆掉了，這樣設備的作用是將工作台與外部環境隔離，保持水平，減少外界震動幹擾，並維持穩定的溫度、壓力。
    第二天，測量台、曝光台被他弄下來了，這兩個稱之為雙工作台係統，承載矽片的工作台。
    ……
    第七天，能量控製係統也被他拆下來了，這個玩意控製最終照射到矽片上的能量，直接影響到芯片質量。
    整整七天的時間，陳諾將這台價值5億元的光刻機拆成了十二個子係統。
    他對整個光刻機的組成部分了然於心，零部件啥的他可沒那個閑心去研究。
    每拆一個大部分，他都會對其中的一些部件、原理、遠轉等研究一翻。
    看著眼前被拆的七零八落的光刻機，心中滿是感慨。
    這種級別的光刻機真如外國的專家所說，給我們全套圖紙我們也是搞不出來，一是零部件的精度問題，二是組裝精度問題。
    這是任何一個國家或者公司能搞定的，涉及到了光學鏡頭、光源、軸承等等。
    說amsl是製造商，不如說他們是設計商、組裝商更為恰當，隻要涉及的相關光源、鏡片等等有一個卡了它，他們就徹底的完蛋。
    可惜在政治的意圖下，這種可能性不大。
    這台光刻機使用的是fd-soi工藝，工藝在製造過程中相對簡單，但是soi基片價格稍貴。
    而陳諾的finfet工藝製造過程更為複雜，但基片價格便宜，讓兩者的實際製造成本相差不大。
    但不管怎麽說，至少是用另一種方式，繞過了國外設置的專利壁壘。<101nove.commos、gan、soi三種，finfet將是第四種。
    “周部長，你可以派人來接接收了，我這邊暫時搞定了。”
    陳諾用實驗室的特殊電話給周正峰打了個電話。
    “你搞定了？研究出啥了沒？”
    “你猜？”
    “行吧，你等一會，我讓中科院的微電子研究所的錢院長帶人去接收。”
    周正峰敢肯定陳諾一定研究出什麽了，否則不可能出實驗室。
    打完電話，陳諾百無聊奈的看著被拆成了一地零件的光刻機，心裏嘀咕了起來。
    “係統，看在你家主人沒有功勞也有苦勞的份上，總得給個技能鼓勵一下吧！”
    “別人的係統是要啥有啥，怎麽到我這裏你就這麽慫呢？你是不是在你們係統界混的不咋滴？”
    “你早點讓我與世間無敵，你也早點回你們係統界交差不行嗎？”
    “你再不給技能，我就罷工了，讓你社死！”
    陳諾在心裏將係統裏裏外外吐槽了一遍後，心中低喝了一聲。
    “係統，簽到！”
    “叮！簽到成功，恭喜宿主獲得finfet工藝改良技術框架。”
    “我去，總算是給了個技能，真特麽的不容易！”
    陳諾在這個實驗室內呆了七天，每天拆完機器就簽到，結果連根毛都沒有獲得。
    沒想到都要走了，竟然獲得了一個，難道威脅真的有用。
    “叮！威脅係統，你是第一人，真他娘的是個人才，再威脅、辱罵係統，直接剝離一項技能！”
    突如其來的聲音讓陳諾懵逼了。
    自獲得係統開始，係統一直都很冷淡，主動回應他的這是第三次，而且還是警告。
    得咧，你是大爺，惹不起。
    陳諾不再搭理係統，而是接收finfet工藝改良技術框架。
    十幾分鍾，他眼中狂喜和震撼。
    原本給finfet工藝能將精度從28n，這段時間他不斷的研究，有一種新的想法，或許可以從14n。
    據他猜測7nm是finfet工藝的極限了，再想提升隻能看euv光刻機。
    可沒想到這個給的finfet工藝改良技術框架最終可以達到5nm，這簡直是超乎了他的想象。
    若是真達到了5n的矽基芯片。
    從這一點上，國產光刻機已經可以開始崛起了。
    但想要完全國產化可能還需要一段路要走，比如高端光源、鏡片等。
    以國內的自主研發的光刻機使用的光源和鏡片，即便加在陳諾的這個finfet工藝，7nm是極限了。
    飯要一口口吃，路要一步步走，有了現在這個技術，至少三年內在芯片領域不會被卡脖子了。
    三年時間足夠發生太多的事情，也許三年後他就於世間無敵了。
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