第一次進入清大光刻機車間，趙國慶有些激動，直接直奔主題，幾個關鍵技術。
    “何教授，你們這光刻機用的什麽光源？”
    “你還真懂光刻機啊！”
    趙國慶笑了笑：“書上有介紹！”
    何振華說：“用的高壓汞燈光源，436納米的藍光汞g線，這類高壓汞燈光源目前已經達到國際先進水平！”
    好吧，國際先進水平，國際上十年前都已經開始研究波長更短的紫光激光電源了。
    趙國慶想起kbbf晶體在零下213攝氏度的時候，出現超導現象。
    就在他用x光穿透kbbf晶體的分子結構時，發現進入超導狀態的kmbbf晶體，竟然可以反射x光。
    這可是了不得的發現。
    x光因為有強大的穿透力，目前任何透鏡都不能讓他轉移方向，而kmbbf晶體如果能讓x光反射的話，可以通過凹麵鏡，縮小掩膜版的圖像，對光刻機光源有著顛覆的變革。
    可惜的事，發現這件事後，沒多久就掛了，沒有再研究下去。
    不過，現在，他有足夠的時間繼續這項研究。
    何振華教授繼續介紹，從口氣中聽出的，全部是遙遙領先。
    “采用的是國際先進的非接觸式透鏡曝光方法，成像質量高，比起三年前h大製作的接觸式曝光，可以顯著提高掩膜版的使用壽命，並且透鏡曝光可以以掩膜版比光刻圖案5:1的比例，可以製造更複雜的芯片。”
    趙國慶點點頭，他雖然對光刻機算不上內行，但怎麽也能說是見多識廣。
    intel、ibm的芯片製造廠他都進去過，從九十年代一直到2023年，國外光刻機一路演變，他還是清楚的。
    “436納米的藍光汞g線光源，加上非接觸式掩膜曝光工藝，理論上可以製造一微米製程的芯片！”
    若采用多重曝光甚至可以製造500納米製程的芯片，或者水膜浸潤工藝，當然技術難度更高一些，極致可以製造250納米芯片，這些話沒辦法說。
    至於用九十年代發明的kbbf晶體升級極紫外光，還有雙工台提升商用製造效率，現在還是沒影的事。
    能不能現在開始布局？
    沒說的，肯定要幹啊！
    趙國慶的問題，何振華教授沒有回答，而趙國慶也發現了一些問題。
    “校準采用的是人工校準！”
    光刻流程不是一步到位，有時候需要反複多次，所以再次光刻，位置如果有細微的改變，往往意味著製造失敗，所以需要校準。
    而校準的辦法就是在晶片上留下一個標誌，以這個標誌來校正。
    何振華搖搖頭。
    “國內最先進的魔都電機廠都沒有合適的伺服電機，國內的光壓傳感器靈敏度不夠，隻能用人工校準，我們采用三軸人工校準裝置，誤差可以精確在一百納米。”
    趙國慶搖搖頭，這台光刻機根本沒有商業方麵的使用前途，xyz三軸人工校準，雖然沒看他們操作，時間上肯定不會短。
    “光刻膠，蝕刻氟化氫……”
    “進口日本的？”
    “曝光用的透鏡呢！”
    “進口日本尼康！”
    好吧，趙國慶大概也明白了。
    “之所以沒辦法製造一微米製程的芯片，是不是因為晶體管連接的鋁導線的原因？”
    何振華驚訝的看向趙國慶，這事他可一點也沒有向趙國慶透露。
    高昌明亦是長歎，這小趙一次又一次刷新他的認知。
    看看何振華的表情就明白了，第一次見麵的時候，是高高在上的姿態，今天呢，已經把趙國慶當成一個平等對待的人了，而現在，似乎稍微帶著一點仰視。
    “你怎麽知道的？”
    趙國慶若無其事的說道：“光源、透鏡、校準，還有膠體、蝕刻材料都沒有問題，那隻能是晶體管鋁互聯發生了問題，誰都知道，矽襯底跟金屬鋁會發生擴散，製程越小擴散越嚴重，直到不能工作！”
    “我如果猜的沒錯的話，你們三微米，甚至五微米製造的芯片，恐怕也不能實現設計的頻率吧！”
    “……”
    誰都知道，為什麽我就不知道，高昌明很無語。
    “你怎麽知道的？”
    趙國慶說：“何教授，你可以翻一下1974年《微電子行業》期刊，上麵就有介紹！”
    “……”
    知道了症結，要解決就容易了，趙國笑著對何振華說：“何教授，我有辦法，你信嗎？”
    “你有辦法？”
    “加一層隔離金屬層就行！”
    用一層金屬層將鋁與矽隔離開來，隔絕彼此擴散。
    何振華搖搖頭說：“我們也想著用一層金屬隔離層，但還沒有找到合適的材料！”
    有時候就是這麽扯淡，很多時候，就因為一個小東西，阻擋技術進步多年，等到公開後，才發現，特麽的就是一個屁。
    “何教授，試一試用鎢，上次你做發光半導體用的金屬原子蒸餾器就可以，晶片上矽襯底上，先沉積一層鎢薄膜，再上鋁導線層。”
    “真的能行？”
    何振華眼睛直直的看向趙國慶，要是真能行的話，直接從五微米製程，進展到一微米製程，這意義，不可謂不大。
    高昌明也坐不住了。
    “國慶，科技部剛剛發的文件，要鞏固五微米，攻關三微米，邁步一微米製程，你這不鹹不淡的一句話，科技部發的文倒成了笑話了。”
    “有這文件？我還以為我們可以生產一微米製程的芯片呢？”
    “……”
    何振華搖搖頭。
    “也不費事，設備都有，試試看吧！”
    …………
    趙國慶長呼一口氣，能幫的也就這麽些了，不過這些透鏡、光刻蝕刻材料都是日本進口的，也是挺讓人憂慮的。
    還有就是工藝自動化，如果不解決，光刻機項目永遠沒辦法商用，也就是說永遠沒有自動造血能力。
    趙國慶跟高昌明說：“高所長，如果有可能的話，14所還是要進幾台尼康的光刻機。”
    現在的asml還是個小弟，最先進的還屬日本的光刻機，能搞幾台進行逆向工程，積累一些技術基礎，還是很有必要啊！