“材料研究室現在主要以晶圓為研究對象，以後在整個芯片製造生產中，材料方麵的進步進化，都不可能停下腳步，而芯片製造中所需要用到的材料是很多的。這些會逐步都歸納到材料研究室來。”

    “這是部門設計與規劃的事情，這就不用我操心了吧？”

    “現在不是帶你參觀嘛，後麵的研究部門就都跟光刻機相關了，也就是說，目前我們的研究分兩大塊，一塊研究晶圓生產，一塊研究光刻機技術。”

    整個光刻機進化的曆史就是和一個公式裏的三個因素有關，這三個因素決定了光刻機的分辨率，分辨率，也就是光刻可以達到的最小尺寸。

    當然，這個跟晶圓生產裏，單晶矽柱或者說晶圓片不一樣，晶圓柱或者晶圓片，那是越大越好，可分辨率卻是越小越好。

    影響分辨率的第一個因素就是光的波長，波長越小成像越精細，提升成像方麵的最有效方法就是使用波長更小的光源。

    所以安德科技的第二個研究部門就是激光光合器部，目前世界最先進的是準分子激光器，波長更低的深紫外光準分子激光，然後這個波長的數字已經被降到193納米，由氟化亞激光器提供，人們在193納米徘徊了很長時間。

    “我們的激光光合器部門，主要就是研究這深紫外準分子激光，希望能在前人的基礎上追趕當今世界的腳步，然後再努力超越。”

    兩人在激光光合器部門口輕聲聊著，強哥看著裏麵忙忙碌碌的工作人員，心中豪氣萬千，終有一天，我們的部門，我們的企業，我們的國家，一定會製造出世界一流光刻機，最終芯片製造成為經濟發展的強大引擎。

    來到第三個部門，隻見門牌上“折射材料與技術研究部”。

    這就是基於分辨率第二因素的研究部門了。

    分辨率第二因素就是折射率。

    這個因素又跟晶圓一樣，越大越好，也就是說，折射率越大，分辨率就越小，分辨率越小，當然光刻機的能力就越大羅。

    折射率不是簡單用透鏡組裝一下就能解決，因為光在在折射的時候還會出現很多問題，最終成像會出現相差。啥是相差呢？簡單來說就是透鏡的成像能力不理想，理想很骨感，現實卻很豐滿，這個理想中的成像效果和透鏡實際能夠實現的效果之間的差距就是相差造成相差的原因有很多，簡單來說就是平行光線透過球麵透鏡後不能完全聚焦於一點。

    而這就是“折射材料與技術研究部”需要研究和解決的問題。不管你用三個還是五個透鏡，也不管你怎麽組裝，總之無限度降低折射率，那就對了。

    第三個因素是工藝因子，說白了就是芯片製作過程中從工藝製造、工藝流程層麵來提升分辨率、用什麽樣的方法來提升分辨率的問題。簡單來說目前世界上已經有了的五種工藝技術:

    一，多重曝光，多重曝光是最容易理解的一種技術，簡單來說就是一次不行就多曝光幾次，通過曝光的次數，曝光的程度，來控製曝光後達到的效果，這就是多重曝光的工藝技術研究。

    目前有很多介紹多重曝光的科普資料，所以這塊的研究相對來說會順利一些。

    二，側牆轉移，基本思路是在光刻搞不定的情況下，其他方麵的就各種技術一起上，把光刻、薄膜沉積和刻蝕等技術整到一起來用！也就是先使用光刻技術刻上一個胚，在這個胚上用薄膜沉積技術和刻蝕來加強精度。

    三，移項掩膜，當兩束光碰到一起的時候，有些光會得到加強，而有的光會相互削弱，這跟光的波長和光的性質有關。而移項掩膜就是利用技術對這個光的性質和光現象來加以利用，在光透過的模板上加入移項器，讓相鄰的兩個小孔之間透過來的光相位正好相反，使得光斑和光斑之間的間隙就變得清晰。

    四，離軸照明，所謂離軸照明就是把光斜著繞過來，為什麽斜著繞過來就會提高分辨率呢？其實就是光線的利用率問題。光線發射後通過各種透鏡，不是所有光線都被收集到達預定位置的，有部分走著走著就不見了，就如同一個旅遊團，有人拍照去了，有人上廁所去了，如果不采取措施，隻怕最後一個旅遊團就隻剩下導遊了。所以這項工藝技術就是提高光線通過率的措施。

    五，光學鄰近效應校正，就是加強光刻精度的一項工藝技術，也就是說前麵那些措施疊加，刻出來的效果在一些局部地方可能還是有些發散，通過這項技術讓發散多的地方變小，而光刻少的地方加強。

    張珊確實對整體光刻技術有比較深的了解，盡管她也不會其中任何一樣技術，但是，作為管理者，整體流程肯定得比較了解，技術難關在哪裏，突破哪裏的技術瓶頸更有價值，哪裏需要加強人員能力，哪裏需要更多財力支持，這些問題，是管理過程中，作為統籌者，所必須掌握的。

    隨著張珊一路的講解，王耀強也彌補了不少光刻機技術方麵的知識，這其實對於他來說，有知道和了解的必要性，作為投資人，就算沒把錢放在眼裏，投資幹了些什麽總得知道，投資的效果預期總要有對吧？

    和張珊把九大部門逐一走過，強哥覺得自己挖人挖得太對了，這張珊就是個寶，組織籌建安德科技時間不長，不要說她自己對芯片製造的了解已經有多深，但是弄出來的各大部門，全都井井有條，確立的科研目標既實在又有前瞻性，財務反應錢還花得少。

    真是撿漏了！

    作者按:光刻機研究還有三個部門沒介紹，個人覺得這不是技術探討，怕讀者們看不下去，就刪掉了後麵三個部門的介紹了，很多人知道光刻機，也知道光刻機的重要，但是很少會有人去了解光刻機麵臨的技術難題，小說裏也隻能很有限度的涉及一下技術方麵的問題，如果想對這方麵有更深的了解，那就得去找專業些的資料來看了。

    所以請大家多多理解，也請讀者朋友們多多支持。當然最好的支持是加書架和給五星好評啦！

    謝謝大家！

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