集成電路的研究，也並沒有出現太大問題。
    畢竟已經有了規劃，按照規劃往下走，一步步進行研究就可以，隻不過光刻機的研究並不是那麽順利。
    光刻機的研究已經定下了基調。
    要研究接觸式光刻機，除了觸式光刻機外，在這年代還有接近式光刻機。
    接觸式光刻機它的優點就是結構相對簡單，成本較低，並且因為掩模版和矽片緊密接觸，所以光的衍射效應較小，這樣就能得到相對較高的分辨率。
    但也有缺點。
    那就是掩模版與矽片表麵的光刻膠會有直接接觸，所以這就容易導致相互汙染和磨損，讓掩模版使用壽命大幅減少，必須要頻繁更換。
    接近式光刻機就不一樣了。
    它的研究出來的原因，就是因為解決接觸式光刻機掩模版易損壞的問題，所以才有了接近式光刻機。
    這樣就能夠提高掩模版的使用壽命，以及良品率。
    但也有缺點，那就是容易導致係統的分辨率下降，不如接近式光刻機接觸式光刻機。
    可以說這兩種光刻機，都是這個年代的主流，不過相比起來還是接觸式光刻機更容易製造。
    雖然接近式光刻機與矽片表，隻有2525微米的距離，但就是這麽微小的距離，增加了機器製造的難度。
    而像是後世的投影式光刻機、掃描投影式光刻機、步進重複式光刻機、步進掃描式光刻機 、浸沒式光刻機、極紫外光刻機。
    這些雖然更好用，但在這年代根本就製造不出來。
    先不說後麵幾款光刻機，就算是投影式光刻機、掃描投影式光刻機，這兩款計算機，都要等到70年代初才會被研究出來。
    並且研究出來的難度，比起接觸式光刻機難度不止增加了一倍。
    李梟也不奢望其它，能在1970年代以前，研究出投影式光刻機就可以，這也就意味著追上了國際水平，不至於被落下。
    “小梟你什麽時候回來的？”，看到李梟，羅教授很高興道。
    “昨天剛到，羅教授，光刻機研究的怎麽樣了？”，在羅教授的辦公室中，坐下後李梟問道。
    “不太理想，中間遇上了問題，一直沒找到解決的辦法。”，提到正事，羅教授也是皺起眉道。
    聞言李梟心裏也跟著沉了沉，能讓羅教授這般犯難的，絕不是小麻煩，也就道“都有什麽問題？”。
    “那問題就太多了，我都有些頭痛。”，羅教授歎了口氣，伸手從抽屜裏拿出兩片透明的石英掩模，遞給了李梟。
    李梟接過去看了看，就看到上麵那許多細密的劃痕，羅教授也是這個時候開口道“你先看看這個，這是上周剛做的掩模，才用了三次，表麵就劃成這樣，現在用的掩模基板太薄，壓的時候隻要稍微沒控製好，要麽掩模裂了，要麽晶圓表麵被刮出印子，後續刻蝕出來的電路全是斷口，良率連三成也達不到。”。
    “有沒有換厚一點的試試。”，李梟也是看著石英掩模，想了想道。
    “試過了，基板加厚到25毫米，壓力調到最低，但這樣一來掩模和晶圓貼不緊，中間容易留氣泡，曝光的時候氣泡處的圖形就會變形，線寬偏差能到2微米，差的太多根本就沒辦法用。” 。
    說完羅教授又歎了口氣道“這還隻是第一個問題，還有就是對準的事兒，這更讓人鬧心，我們隻能靠人眼通過顯微鏡手動對準，但沒有人能夠一天全部精神力集中，
    稍一分心套刻精度增大，有的偏差直接能飆到3微米，這也沒有辦法，人的精力有限，不可能每時每刻都保證高精度操作。
    而最讓人頭痛的還是咱們的環境問題，不要說外麵，就說實驗室內，現在我們都無法保證千級潔淨，空氣中的灰塵落到掩模上，曝光後就是一個個黑點，有時候一批晶圓裏，一半都因為灰塵報廢了，
    我們也想過辦法，想著在操作台上加了個簡易防塵罩，但結果通風，光刻膠固化速度變慢，曝光時間得延長兩倍，效率低得嚇人。”。
    聽著羅教授講的這些，這一講就是八九個問題，李梟也是皺起了眉，這些問題之前他也查過，但很多都沒有太好的解決辦法。
    像是環境控製的問題，接觸式光刻機要求的環境，在這個年代來講，是比較苛刻的。
    因為光刻的過程對於振動、溫度波動甚至空氣潔淨度都非常敏感，這也是為什麽要求在千級潔淨的環境中製造。
    但要知道想要達到千級潔淨可沒那麽簡單，所謂的千級潔淨，要求的是每立方米直徑≥05 μ 的懸浮顆粒不超過約35,101novel.com0個。
    這就需要通過控製空氣中微粒、溫度、濕度、壓力等參數，來滿足特定潔淨需求。
    而這種技術國內現在根本就製造不出來，至少也要等到幾年後，才建立起千級潔淨室，來進行軍工、電子等的研究。
    這個目前來講沒有太好的解決辦法，隻能夠盡力去克服。
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    還有機械對準的問題也是一樣，必須要精確控製掩模版與晶圓的平行度和接觸壓力，這樣才能夠讓曝光區域內接觸均勻，導致圖形失真或局部不清晰。
    否則要是壓力不均或存在微小傾斜的話，都會導致出現問題。
    但現在機械加工精度、自動化控製水平本來就有限，本就難以進行高精度的對準和均勻的接觸壓力。
    這個也沒有太好的解決辦法， 畢竟工業水平就擺在這裏，想要工業水平提升，那更是難上加難。
    隻能依靠人員的經驗和手工調試。
    可以說這一次光刻機的研究，直接挑戰了精密機械加工、光學設計與製造、精密化學、自動控製以及超淨環境構建等多個領域。
    這些領域和機械設計不一樣，機械設計的話，隻要設計出來，加工精度足夠，在不涉及到電子元器件的情況下，就能夠給製造出來。
    還有像是光刻膠技術，光刻膠的配製、曝光靈敏度均勻塗覆，以及顯影效果，這些都直接關係到圖形轉移的質量，但國內現在對於這一項技術，還處於起步階段。
    是靠著量大的實驗慢慢摸索，堆出來的成果，這些也是需要慢慢的研究，他也插不上手。
    想到這些李梟也是跟著歎了口氣道“這些隻能是慢慢的來了，急不得。”。
    “也隻有這樣了。”，羅教授也是跟著道，感歎完了這一句，羅教授就又道“對了，上個月上麵要求我們設計一款，保密通信與數據加密的計算機，不過我們這邊一直沒多少頭緒，你有沒有什麽想法？”。
    “哦！保密通信。”，聞言李梟心道，也是驚訝了一下，畢竟前世國內也專門生產過類似的計算機，不過那要等到70年代去了。
    但想想這一世計算機的研究提前了這麽多年，李梟也就不再奇怪了。
    而對於那款計算機李梟也看過一些資料，那款計算機前世是1970年至1974年期間，由電訊工程學院，為了國防重點工程研製專門研究的。
    被稱為930保密通信專用計算機。
    它的主要作用就是用於戰術保密通訊，就比如數字電話和語言的處理，可以說它是緊緊圍繞國防保密通信，來進行研究的。
    為此甚至加入了專用的硬件加密模塊，這些模塊與cpu緊密耦合，通過專用總線連接以確保加密解密運算的高速和安全。
    這還隻是一部分，其中還加入了保密通信協議和加密算法，把這些緊密聯合起來。
    這才形成了一個高度協同、穩定可靠的整機係統。
    對於這台計算機，李梟並沒想加入進去，不過羅教授一些提示還是沒問題的。
    聽著李梟的講述，羅教授最開始還隻是點頭，表示認可，和聽著聽著，就拿起筆，開始在紙上記錄了起來。
    他沒有想到隻是隨口給李梟這麽一說，李梟竟然就想到了這麽多點子。
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