玉龍按照悟空的指示，將氣體放電腔與各種設備連接好，然後啟動電源。隨著氣體緩緩注入腔內，電流逐漸增大，腔內開始發出微弱的光芒。
    “電流再增大一些，注意觀察波長的變化。”悟空說道。
    玉龍慢慢調整電流，光芒越來越亮，當電流達到一個特定值時，光譜分析儀顯示出光源的波長穩定在 193 納米左右。
    “成功了，悟空！我們成功製造出了符合要求的光源係統的關鍵部分！”玉龍興奮地喊道。
    “這隻是第一步，接下來我們還要製造機械運動係統和光學係統，但這是一個良好的開端。”悟空說道。
    “沒錯，這確實是個好開端。接下來的機械運動係統，其精度要求極高，容不得半點馬虎。”悟空一邊說著，一邊在虛擬屏幕上展示出機械運動係統的詳細設計圖。
    玉龍仔細端詳著設計圖，目光緊鎖在導軌和絲杆傳動係統的部分：“悟空，從這設計來看，導軌和絲杆的製造是關鍵，可我們目前的材料和工藝，要達到微米級別的精度，難度不小。”
    “確實如此，不過我們可以嚐試使用新型合金材料。這種合金由鐵、鎳、鉻按 721 的比例熔煉而成，經過特殊的熱處理工藝，能大幅提高材料的硬度和耐磨性，有助於滿足高精度的要求。”悟空分析道。
    玉龍立刻來到自動化操作台，按照悟空提供的材料比例和工藝參數，開始準備製造導軌和絲杆的材料。
    自動化熔爐啟動，將各種金屬原料按照精確的比例投入其中。
    隨著溫度的升高，金屬逐漸融化、融合，熔爐內光芒閃爍。
    “注意控製熔爐溫度，在熔煉過程中，溫度要保持在 1500 攝氏度左右，波動不能超過 ± 5 攝氏度，否則會影響合金的性能。”悟空時刻關注著數據，提醒玉龍。
    玉龍緊緊盯著溫度顯示屏，微調著熔爐的功率，確保溫度穩定。經過數小時的熔煉，新型合金材料製作完成。
    接下來，便是利用自動化加工設備製造導軌和絲杆。機械臂精準地抓取合金材料，開始切割、打磨、塑形。每一個動作都嚴格按照程序設定的參數進行，金屬碎屑在加工區域飛濺。
    在打磨導軌時，要使用高精度的磨具，磨具的粒度需達到 2000 目，這樣才能保證導軌表麵的粗糙度達到微米級別。”悟空說道。
    玉龍操控著自動化設備，小心翼翼地調整磨具參數，啟動打磨程序。
    機器發出均勻而低沉的嗡嗡聲，導軌在磨具的作用下，表麵逐漸變得光滑如鏡。
    經過長時間的精細打磨，導軌的直線度誤差成功控製在微米級別以內。
    緊接著，開始製造絲杆。
    絲杆的螺距精度要求更為苛刻，玉龍和悟空不敢有絲毫懈怠。
    自動化設備通過精密的數控加工技術，對絲杆進行一道道工序的處理。
    在加工過程中，悟空不斷根據實時監測的數據，指導玉龍對設備參數進行微調。
    “絲杆的螺紋角度偏差要控製在 0.01 度以內，現在這個數值接近臨界值了，稍微調整一下刀具的進給量。”悟空說道。
    玉龍迅速做出反應，精準地調整了刀具的進給量，確保絲杆的加工精度。
    經過無數次的精細操作，絲杆終於製造完成，螺距精度達到了令人滿意的標準。
    接下來是安裝高精度傳感器。
    玉龍在悟空的指導下，將傳感器小心翼翼地安裝在工作台的關鍵位置。
    這些傳感器如同機械運動係統的“眼睛”，能夠實時監測工作台的位置變化。
    “安裝完成後，進行傳感器的校準。校準過程中，要使用標準的位移量進行測試，確保傳感器的測量誤差在 ± 0.1 微米以內。”悟空說道。
    玉龍按照要求，使用標準位移量對傳感器進行校準。
    經過反複測試和調整，傳感器的測量誤差成功控製在規定範圍內。
    機械運動係統初步完成後，玉龍和悟空對其進行了全麵的測試。
    工作台在導軌上平穩地移動，位置精度完全符合設計要求，傳感器實時準確地反饋著工作台的位置信息。
    “機械運動係統這一步算是成功了，接下來就是更為複雜的光學係統。光學鏡片的製造對我們來說是個巨大的挑戰。”玉龍說道。
    “沒錯，尤其是物鏡。我們要先準備好氟化鈣晶體材料，這種晶體的生長需要特定的環境。我們需要搭建一個晶體生長爐，爐內的溫度要控製在 1200 攝氏度左右，並且要保持溫度的均勻性，溫度波動不能超過 ± 1 攝氏度。同時，還要控製爐內的氣壓和氣體成分，為晶體生長提供穩定的環境。”悟空說道。
    玉龍立刻著手搭建晶體生長爐。
    他利用自動化操作台，製造出了生長爐的主體結構，然後安裝了高精度的溫度、氣壓控製設備。
    經過一番調試，晶體生長爐準備就緒。
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    玉龍將準備好的原料放入生長爐中，啟動設備。
    生長爐開始工作，內部溫度逐漸升高，穩定在 1200 攝氏度。
    在接下來的數天裏，玉龍和悟空密切關注著晶體的生長情況。
    “目前晶體生長狀態良好，注意觀察晶體的形態，確保沒有缺陷。”悟空說道。
    經過漫長的等待，一塊高質量的氟化鈣晶體終於生長完成。
    玉龍將晶體取出，看著這塊晶瑩剔透的晶體，心中充滿了期待。
    接下來，便是對晶體進行研磨和拋光。
    這是一項極其精細的工作，需要使用專門的光學研磨設備。
    玉龍在悟空的指導下，調整研磨設備的參數，開始對晶體進行研磨。
    “研磨過程中，壓力要均勻分布，並且要不斷調整研磨的方向，以保證鏡片表麵的精度。每研磨一段時間，就要進行一次測量，確保表麵精度達到納米級別。”悟空說道。
    玉龍全神貫注地操作著設備，經過無數次的研磨和測量，鏡片的表麵精度逐漸達到了要求。然後，進行拋光處理，使鏡片的表麵更加光滑，透光率更高。
    經過艱苦的努力，物鏡終於製造完成。玉龍將物鏡安裝到光學係統的實驗裝置中，與其他光學元件進行組合調試。
    “現在進行光學係統的整體調試，要通過精確的光學測量設備，對光線的傳播路徑、聚焦情況進行監測和調整。”悟空說道。
    玉龍和悟空在實驗室裏忙碌了數天，對光學係統進行了反複的調試和優化。
    最終，光學係統達到了預期的性能指標，光線能夠準確地聚焦和傳播，像差和誤差都控製在極小的範圍內。
    “我們成功了，悟空！光刻機的三大關鍵係統都初步完成了！”玉龍興奮地說道。
    “這是一個了不起的成就，但我們還需要對整個光刻機進行整合和全麵測試，確保各個係統之間能夠協同工作，達到最佳的性能。”悟空說道。
    玉龍點點頭，充滿信心地投入到下一步的工作中。
    他知道，距離成功製造出光刻機還有一段路要走，但每一次的突破都讓他更加堅信，清風寨在科技發展的道路上必將越走越遠，創造出屬於自己的輝煌 。
    玉龍深吸一口氣，抖擻精神，開始著手將各個係統整合到光刻機的整體架構中。
    自動化操作台的機械臂在他的操控下，精準地將光源係統、機械運動係統和光學係統的各個部件一一就位，進行細致的連接與固定。
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