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線上交談會仍在繼續。
這次輪到了清大副校長,科學院院士黎朔教授。
“終於到我了,我隻問江南同學一個有關光源的小問題。”
黎朔教授緩緩開口,問了一個與他本專業有關的問題。
“眾所周知,極紫外光刻需要功率極高、穩定性極佳的13.5納米波長的等離子體光源。現在國際主流是采用高功率二氧化碳激光轟擊錫滴靶材產生等離子體,但其中涉及到了複雜的激光靶材相互作用、等離子體調控和碎片管理難題,轉化效率和穩定性是公認的世界級瓶頸。”
涉及專業問題,黎朔教授語氣嚴肅。
“既然光刻機從頭到尾是西北研究所獨立研發,那大家是如何解決這個關鍵問題的?以及我很好奇,在提升光源功率和延長光鏡壽命方麵,你個人認為團隊最大的創新點是什麽?”
雖然觀眾並不明白這些專業名詞指代得到底是什麽問題。但從黎朔教授嚴肅的語氣就能感受到這個問題的分量和嚴重性。
而江南,這次他回答得更快更從容。
“傳統錫滴靶材路線麵臨效率、穩定性和汙染三大挑戰。我們最初也嚐試過深入優化這一路徑,但發現受限於基礎物理機製和材料特性,短時間內難以取得突破性進展,而且很容易陷入專利糾紛。”
“因此,就像之前在直播中所說,我們選擇了一條更具挑戰性,但也更徹底的路徑。那就是雙脈衝協同激發磁約束等離子體光源。”
“簡單來說就是放棄了單一的錫滴靶材,轉而采用特殊合金薄膜作為靶材。首先用一束超短超強激光脈衝轟擊靶材,將其氣化成特定狀態的前體等離子體團。緊接著在最佳時機,第二束主激光脈衝精確作用於這個前體等離子體團,進行二次激發和約束。”
“至於收集鏡壽命,除了在收集鏡表麵使用我們自主研發的、耐等離子體轟擊和自修複能力更強的多層膜材料外,更重要的是我們通過精密反饋係統實時監測等離子體狀態,能夠確保產生的等離子體‘更幹淨’,從源頭上減少對收集鏡的損傷。目前,我們光源的功率穩定在350瓦以上,收集鏡的維護周期遠超傳統路線。”
一串串精準的參數,一個個聞所未聞卻又邏輯嚴謹的技術名詞從江南口中源源不斷吐出。他好像根本不需要思考,又或者這些東西就像血液一樣早就根植於江南的身體中。
旁邊的直播彈幕中全是“大神我聽不懂”、“太專業了有沒有大佬翻譯”、“媽媽這不是我該來的地方”等等感歎哀嚎。
而華國之前發言過得兩位教授,以及現場的諸多實驗室同仁,有的明顯心潮澎湃呼吸粗重,有的則陷入沉思甚至現場就開始拿筆記記錄,顯然受到了極大啟發——
而交談會上,黎朔教授聽完後沉思了幾秒,話筒中傳來歎服至極得鼓掌聲。
“你啊……你遠遠比我想象得更加優秀,這完全是超越時代的科研成就。我算是明白了,光刻機在華國麵世其實是必然!”
隨後,黎朔話鋒一轉,如親切得長輩般笑著開口。
“聊了這麽久,技術層麵的問題我看今天就先到這裏吧……你是看不見,我旁邊的兩位教授已經在奮筆疾書了,恐怕再問下去,他們立刻就得坐不住直奔光刻機實驗室把你綁過來……”
這幽默誇張的話引得華國代表團一陣輕笑,西北實驗室現場也一陣善意的笑聲。
至於直播彈幕,上麵已經滿屏“哈哈哈”表情包了。
“黎教授好可愛哈哈哈哈哈,居然還會開玩笑的嗎。”
“奮筆疾書?原來不止我們這些學生聽不懂需要錄屏錄音,頂尖大牛們也要現場記錄啊,突然覺得我離他們也很近嘛。”
“前麵的別想了,你那是幻覺。你記錄是壓根聽不懂,人家教授是啟發出了新想法,這可不一樣哈。”
“沒所謂,就剛才那一刻,我宣布我跟兩位清大教授共情了:死手快記啊,趕緊把江南透露的精華全記下來!”
“原來這就是清大教授們啊,居然這麽可愛,他們看江南不就是長老看待宗門天驕嗎,”
“沒那麽冷漠,江南比這個程度還珍貴。”
“非得說的話,我覺得像老祖重生哈哈哈哈……”
“那可是江南啊,是以一己之力扛起華國半導體行業的狠人,倆教授這麽喜歡他是必然的,要我我也喜歡!”
直播鏡頭中,黎朔副校長自然得提及另一個問題,語氣親切得像是聊家常。
“趁這個機會,我忽然想問一個不那麽專業但想必大家都很感興趣的問題。”
“我們都知道每一個超出時代的研究或者發明,突破瓶頸時其實都需要天才的靈光一閃和大眾難以想象的艱苦耕耘。我私下也向西北研究所的幾個老朋友了解了。他們告訴我光刻機後期超過百分之五十的關鍵進展和難題破解,核心思路幾乎全部由你提供——所以江南同學,你那些石破天驚得想法到底怎麽來的,你能跟大家分享的經驗是什麽呢?”
