第266章 華清大學的光刻機
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華清大學,精密儀器係大樓,一樓。
整個一樓,都被建設成為了精密光學儀器加工工廠,在內部被稱為9003實驗基地,而華清大學的光刻機,就是在這裏誕生的。
大年初三,已經到了上班的時間,大樓裏人來人往。
一名瘦弱的中年人,走進了9003實驗基地的辦公室,剛剛想要換衣服,通過強力風道進入,開始一天的工作,就被人叫住了。
“老徐!”
徐教授扭頭,看向叫自己的人,係主任沈釗,同時也是這個加工廠的廠長。
“老徐,走,先去會議室裏開個會。”
“好。”
會議室內的氣氛……有些不一樣啊,剛剛過年回來,大家夥難道不應該是喜笑顏開的嗎?怎麽個個愁眉苦臉的樣子?
“大家夥都到齊了,咱們開會。”沈主任開口:“昨天的時候,我去上麵相關部門拜年,電子工業係統的領導說,我們的光刻機項目的研發經費,可能會……”
徐教授的心瞬間咯噔一下:“會怎麽樣?”
“會大大的縮減,畢竟……我們國家要搞經濟建設,很多項目都要忍耐,我們的光刻機……到目前為止,就賣出去了兩台,根本就無法支撐起來龐大的研發經費,所以……”
徐教授騰的一下子站了起來:“沒錯,國家是要搞經濟建設,但是,我們光刻機,也是為了國家的經濟建設服務的,我們能製造出來一流的芯片,那就意味著能獲得大筆的利潤,甚至能出口創匯!”
“是啊,道理是這個道理,但是現在……”沈主任有些無奈地開口:“現在,我們研發的光刻機,根本就沒有單位采購,龐大的研發經費無法轉化為生產力,所以……”
“哼,國內的很多企業,都希望能從國外采購,明明國外的設備還不如我們的先進!”徐教授惱火地說道:“78年之後……”
這是個讓人憤怒的事情!
1960年,徐教授從華清大學畢業,之後就留校任教,再然後,在那個特殊的年代裏,被下放到了鄱陽湖,在那邊的農場裏種水稻。
1971年的某一天,他被農場負責人半夜敲門,還以為自己要完了,沒想到,是首都發來急電,讓他回首都,有重要任務。
徐教授扔下了稻秧,來到了首都,才知道國家要研製半導體生產的關鍵設備:光刻機。
當時的他,還隻是助教,就去參加這種重點項目,從此,就開始了造光刻機的曆史,他永遠都沒有忘記,當時接受任務時候的激動心情,我們祖國的半導體產業,就寄托在我們身上!
華清大學調動了五個係,數百人的研發團隊,開始了辛苦的攻關,從光刻機需要的氦氖氣體激光器的研製做起,到精密導軌、絲杠、滾珠、步進電機、控製計算機、光學係統、大孔徑的投影物鏡等,所有的設備,都是自己設計自己製造。
就這樣,東方第一台投影光刻機終於誕生!
光刻機剛剛誕生的時候,都是接觸式光刻機,掩膜直接覆蓋到矽片上,直至七十年代,美國PerkinElmer公司研製成功1:1投影式光刻機。
把光刻膠塗在矽片上,然後用光源照射,從而把該去掉的光刻膠通過光源給刻蝕掉。
最早用的是汞燈當光源,掃描台拖著矽片,和掩膜一起同步運動,光源通過狹縫變成均勻光,把圖案投影到光刻膠上。
僅僅這個裝置,就把芯片的良品率從百分之十提升到了百分之七十。
不過,由於要移動,所以個頭比較大,結構很複雜,於是,後來美國的GCA公司,又開始搞起來了分步重複精縮投影光刻機,掩膜和矽片不需要同步移動,同時物鏡還能縮小倍率,這樣掩膜版的製作難度大大降低。
這個東西誕生之後,光刻機的具體技術路線,就固定下來了,之後不斷提升光源,改進技術,但是基本結構是不變的,除非是後世那種3納米芯片需要的EUV光刻機,其餘的,都是這個結果。
徐教授他們開始研究之後,瞄準的就是投影式光刻機,前些年,這種光刻機已經研發成功,接下來,就應該再接再厲,研發分步投影的光刻機!
可惜,時代變了!
曾經重要的產品,已經能買到了!
這其中的轉折,就是1978年,當時巴黎工業展覽會,東方把光刻機送過去了,一番展覽之後,西方知道東方能搞這種光刻機了,所以,不用搞什麽禁售了。
己方的光刻機在巴黎工業展覽會上展示了東方的技術水平,回來後,一個個說要買光刻機的單位,都不要了!
隻有109廠采購了一台試用之外,就是9003基地裏的那台了。
現在,他們還想要繼續研製分步投影光刻機,上麵已經猶豫了,不想給提供資金了!
早知道,78年的時候就不去參加展覽了!但是……那是上級的命令,己方隻能遵守,甚至,當時出國的人,沒一個是光刻機的研發人員,在會議現場被問了個灰頭土臉,甚至被質疑的假的,要求東方人把這光刻機帶走。
眼看要丟人,才趕緊發電報,讓徐教授匆匆過去,一番介紹,知無不言,才讓外國人相信東方有這個技術!
想起那段曆史來,徐教授就是一陣陣的憤怒。
現在,那些人居然還想要卡著他們的預算!
賣不出去,不是我們的原因!明明那些能從國外買回來的光刻機性能還比不上我們的,國內的很多電子廠,還是要去買外國的,他們不過就是想要找機會,出國去看看……
想到這裏,徐教授握緊了拳頭。
“老徐,你坐下,咱們今天開會,就是商量的,上麵不支持,咱們華清大學也會自籌資金搞研發,隻是畢竟資金不足,可能會慢一些。”
“按照咱們的計劃,資金充足,再有一年就出來了,這樣咱們和國外的光刻機差距,就能縮小到零!現在要是沒了研發資金,可能會拖個三五年的時間……沈主任,咱們好容易追趕上來,不能再拖延啊!”
芯片行業,摩爾定律就是個魔咒!逼迫著研發人員們日夜不停,不斷地研製先進技術。
一步落後,步步落後,現在如日中天的美國的光刻機公司,就是因為打不過島國的光刻機產業,慢慢地衰落下去,而島國的光刻機產業,又是被阿斯麥給終結的。
在後世,所有人都知道東方芯片產業落後,但是他們並不知道,其實在七八十年代,東方的芯片產業並沒有落後太多,如果加大投資力度,像島國、南棒子那樣,把芯片產業當做主要產業來抓的話,絕對能發展起來的!
畢竟,咱們東方人是全世界最聰明的民族!
可惜啊!
帶著這樣的想法,走到了會議室門口的秦亮,深深地呼吸了一口氣,然後推開了門。
“各位,有咱們西工大,咱們的芯片產業不會落後的!”
眾人都是一愣,這誰啊,不認識啊!
不過,這青年身後的人,大家夥是認識的。
“林老,您怎麽……”
“嗯,路過,就進來看看,聽你們說,咱們這華清大學自研的光刻機,被一群有眼無珠的家夥給無視了,咱們是不會坐視不理的,亮子,把你的想法說說吧。”
秦亮點頭:“徐教授,能把我們現在的光刻機性能,給我介紹一下嗎?”
“嗯,目前咱們研製的光刻機,可以加工4到6英寸的芯片,工作台行程160毫米X160毫米,理論分辨率0.8微米,實際有效分辨率可以達到1.25微米……”
“這性能不錯,咱們要兩台!”
兩台!
光刻機這東西,那都是手工生產的,哪怕後世光刻機巨頭阿斯麥,最先進的EUV光刻機,一年的產能也不過幾十台,對華清大學精密儀器係來說,這兩台光刻機,夠手搓好幾個月的了。
“太好了,我們隻報成本價……”
秦亮搖頭:“不,咱們不占你們華清大學的便宜,國際市場上售價多少,咱們就給多少。”
眾人都是一陣興奮。
“謝謝,太謝謝你了!”徐教授一下子站了起來,握住了秦亮的手:“有了你們的這筆費用,我們就能研發分步投影光刻機了!”
秦亮笑了笑:“這第一台分步投影光刻機,我們也要了!我們還會把全款給你們,你們抓緊時間……到年底前,能給我們研製出來嗎?”
東方的半導體工業,已經追趕上來了,絕對不能拖延!有了西工大的這筆經費,就能達到和世界同步水平!
芯片產業的這個短板,要被補上了!
“好!”徐教授點頭:“這一年,我就不回家了,天天住在9003……各位,你們想現在去看看嗎?”
“好啊。”
今天這會議,就是協商在資金減少的情況下,如何繼續搞光刻機開發的事情,現在,不用發愁了!西工大的資金注入,足夠讓他們完成新的光刻機的開發!
原本需要85年才能問世的分步投影光刻機,81年就能搞出來,和世界同步!
大家夥向實驗室而去,穿上防護服,通過了防塵通道,進入到了9003實驗基地。
那台參加過巴黎工業展的光刻機,就擺在實驗室的中央,這裏的溫度常年保持在20攝氏度上,正負不能超過0.1攝氏度,防塵標準100級,在1立方米的空氣中,浮塵微粒控製在100粒以下……甚至這裏的震動幅度,正負不能超過2微米!
其實,想想也知道,你雕刻個1.25微米的矽片,光刻機上下震動一下,哪怕2微米,那雕刻出來的肯定是廢品啊!
這要求,就足夠體現出來它有多麽的高大上了。
秦亮看著這台機器,神情複雜。
“接下來,分步投影光刻機絕對不能對外展示。畢竟,吃過一次虧了,絕對不能吃第二次,如果有上級領導要把機器弄出去炫耀,那就……通知林老。”
78年展示,吃過一次虧了,但是,那些好大喜功的領導們,是不會吸取教訓的,等到華清大學的分步投影光刻機研發成功之後,上級領導又要搞什麽首都工業展,把光刻機又給展覽出去了。
外國人繞著它,上下不停地觀摩,提出各種問題,當時,徐教授他們再次知無不言,然後,那些人就把東方的技術都給學去了,尼康的發家,和這次工業展有很大的關係!
林老先是一愣,然後反應過來:“沒錯,這機器,是要為咱們軍隊服務的,裏麵的技術,都是軍事機密,誰要敢提議把它展覽出去,那就等著吃花生米吧!”
“如果不展示……”
秦亮笑了笑:“酒香不怕巷子深,隻要我們技術先進,就不怕賣不出去,簡單來說,現在英特爾的芯片,使用的還是3微米工藝,下一個工藝節點才是1.5微米,我們今年量產的芯片,就使用1.5微米工藝,隻要芯片上市,看看那些沒骨氣的家夥,還想不想繼續買外國設備。”
“當然,他們或許還想,那華清大學生產出來的設備,全部由我們購買,我們不怕規模大,我們不僅僅可以生產國內需要的芯片,還能給國外代工!這分步投影光刻機,可以進一步提升成品率,國內那些不思進取,盲目崇洋媚外的工廠,徹底落伍淘汰,全部都得破產倒閉!”
徐教授聽得是心潮澎湃,眼前這青年,知道目前國內的情況,也做出來了最正確的選擇,通過大力支持華清大學的光刻機,從而給整個東方的半導體產業洗牌!
那些崇洋媚外的家夥,真是可惡!
“當然,我也希望咱們華清大學的精密儀器係,能夠再接再厲,不斷地研發新的光刻機,始終處於世界領先水平,這樣我相信,國外客戶也會來采購的,到時候……我們也要有選擇性的出售,最先進的,先交付給國內,那些落後的,才能賣到國外去。”
“說得對!”徐教授的聲音帶著顫抖:“哼,到以後,我們也會給西方人設置技術壁壘!”
“秦亮同學啊,我有一個提議。”沈主任開口:“我們華清大學、西工大還有軍隊,要不要聯合起來,成立一個專門的公司?”
林老搖搖頭:“咱們是軍隊,可不能沾染銅臭氣,你們放心,咱們提供的支持絕對不會少,至於聯合成立公司,還是你們看著辦吧。”
八十年代,國家要發展經濟,軍隊要忍耐,眼看著軍費越來越少,所以,到了85年,軍隊就允許經商了,不過……很快,軍隊經商就出現了一係列重大問題,到了98年,就被徹底叫停。
林老的態度是堅定的,軍隊絕對不能沾染銅臭氣!
沈主任的目光看向了秦亮:“秦亮同學,你覺得如何?”
秦亮點頭:“當然沒問題!這樣一來,我們公司的產品,就完全由我們自己說了算,上級領導也別想用什麽行政命令來幹涉我們了,華清大學主要靠技術入股,占百分之四十八的股份,我們西工大用資金入股,占百分之四十八的股份,我們公司需要經營場所,這個請軍隊給我們協調,我們租借軍隊的營房,總得給點報酬,剩下是百分之四,就是軍隊的股份。”
秦亮說完,看向了林老:“我們總不能白占軍隊的地方吧?”
林老神色複雜:“這個我說了不算,需要申請匯報。”
軍隊的確是窮,但是也不能因為窮,就要別人的施舍,但是,租借營房這個,還真說得通。
而且,林老也能明白秦亮的意思。
技術畢竟都是華清大學的,所以給他們股份少了不合適,而西工大出了錢,占據的股份也不能少,雙方一樣多,是最平等的,但是,這樣一來,誰聽誰的?
這個時候,部隊占據的百分之四的股份就能派上用場了,別管站是誰的那邊,誰就能占比超過百分之五十,以後萬一遇到爭執,軍隊就是決定天平傾向的重要砝碼。
所以,他沒有當下拒絕,回去請示一下,反正這也是為了軍隊的發展。
“嗯,我也需要回西工大,匯報一下,不過這光刻機的研發不能耽誤,這定金咱們還是會盡快給打過來的。”
“好!”
沈主任滿臉的興奮:“秦亮同學,多謝你解決了咱們的後顧之憂啊!”
“當初,秦亮同學要是來了咱們華清大學,那就好了!”
聽到徐教授的這句感慨,秦亮的臉上露出了無奈:“唉,當時我也想來,政審有點問題,咱們這邊不敢要我啊!”
“是啊。”
“就算是政審取消,那這思想教育,也絕對不能放鬆啊,得讓我們這個新時代的大學生,知道自己是為了什麽而學習,尤其是國門打開,見到了外麵的花花世界,如果上大學就是為了出國,然後留在國外生活,這的大學生,培養的可都是白眼狼啊。”
一旁,林老心情複雜,你這話是沒錯,但是……你的丈母娘,就是搞出國留學工作的,你這樣說,不是和你的丈母娘唱反調嗎?
PS:光刻機原理圖,下麵的是分步投影,也就是一次就曝光一個,最下麵是當時的研發人員。