第724章 來吧,展示!遙遙領先!

字數:4816   加入書籤

A+A-


    傳統的接觸式光刻機,向來隻有一個矽片載物台,掩模版的對準與壓合全憑手穩,“差一絲,廢一片”的說法,正是這種精密操作殘酷性的真實寫照。
    江夏前期設計的時候,可沒有翁師傅這種“鬼手”大師來個毛遂自薦。
    為了突破接觸式光刻的精度瓶頸,江夏在設計時,搞了個雙平台騷操作!
    一個是矽片載物台,用於承載和固定塗有光刻膠的矽片。專門馱著塗了光刻膠的矽片。要求賊變態,得能在x、y、z三個方向玩納米級漂移還得保證絕對水平!
    為了滿足,鏡麵仙人可是費了不少的功夫在這上麵,差點把頭發都磨禿咯。
    想要達到效果,原本江夏還準備在平台四角安裝上四個螺旋測微頭,這樣操作員可以像調整機床夾具一樣,通過旋轉這四個微調旋鈕,對掩模版進行微米級的平麵度矯正和微小角度補償,以對抗其自身形變或安裝誤差。
    精度不夠,手動來湊!
    另一個是掩模版載物台,用於承載和固定光掩模板。這個可就厲害了,它可以在x、y、θ方向進行精密微調,並且具備z向的精密升降和壓力控製功能!
    同樣的,為了達成這些功能,江夏設計了一個帶有精密絲杠和重型彈簧緩衝的機構。操作員通過一個帶有遊標刻度的大手輪進行粗升降,接近掩模版時,則切換到一個連接著高精度千分表的微調手輪!通過觀察千分表的指針讀數,可以極其精確地控製矽片上升的距離。
    同時,平台下方安裝了一組經過標定的壓力彈簧片,當矽片接觸到掩模版時,彈簧片的微小形變會通過一個杠杆放大機構,在另一個表盤上顯示出接觸壓力的大小!
    操作員根據表盤讀數,配合千分表,手動將壓力調整到預設的安全值。下平台內部還預埋了熱電偶,連接到一個老式的指針式溫度表,用於監測矽片溫度。
    最後,再加上一個高倍率雙筒顯微鏡係統,這樣,光刻機測雛形就出現了!
    厲害吧!
    這還不算完!
    小呆毛的終極夢想是——全自動光刻!
    讓倆平台像跳雙人舞一樣,自己對準,自己壓合,徹底取代人手!
    靠啥?
    靠精密伺服電機當肌肉,光柵尺當眼睛實時反饋位置,再配上大黃分身跑的控製算法pid啥的),閉環控製,完美!
    但是……
    嗯,是的,凡事都怕但是。
    理想豐滿,現實很骨感!
    小呆毛畫餅的時候就知道,這玩意兒擱現在,純屬做夢!
    符合要求的超精密伺服電機?沒有!
    高分辨率的光柵尺反饋係統?更沒有!
    讓“大黃分身”流暢跑動那套複雜的協同控製算法?呃,這個算是有吧……
    雖然在寫作701局,讀作精神病院裏某個技能樹全點到編程上的“小胖墩”全力以赴下,相關程序還真寫了出來。但“大黃”跑起來卡成ppt!
    天知道對不對!
    要不是有翁師傅出現,現在科學院的研究員們可能還在死磕編碼器與驅動器組成的伺服係統,期待著它能實現 “指令  反饋  修正” 的閉環控製流程。
    因為,江夏為兩個平台達到參數要求設計的一係列補償措施,實際操作起來真的太難了!
    四個螺旋測微頭+千分表+壓力表+顯微鏡……這特麽是人幹的活?手抖一下,矽片報廢!精神壓力堪比拆彈!
    在兩個平板做出來的調試前期,科學院就開始組織人手嚐試著操作這個東西,一個人不行,我上兩個人可否?
    答案當然是否!
    最後得出的結論是:隻有傳說中長了八個胳膊的十級工才能流暢操作。手、眼、腦、抗壓能力缺一不可!稍有不慎,滿盤皆輸!
    有十級工嗎?
    都說了是傳說中的,怎麽可能有……雖然後世事業單位專業技術崗位倒是真有這麽個稱呼。
    方案是不能變的。因為這套方案出自那個畫完餅就跑的家夥,雖然那家夥有些顧頭不顧尾,但大佬們審來審去,發現目前還真就這個比較靠譜。
    好在運道點滿的江夏居然從勞改對象裏麵把翁師傅扒拉了出來。
    隻有他,才能把江夏這套理論上可行、操作上變態的過渡方案,玩出花來!把“可能”變成“必然”!
    ……
    看著翁師傅站在光刻機前活動手腳,有人的嘴巴又閑不住了。
    “誒,還是太急了點。該在給他培訓下調平載物台的基本操作的……”旁邊有人擔憂。
    “塗光刻膠的手法你們給翁師傅說明了嘛?江工開始說用旋塗法,後來改成了刮塗……”另一個聲音插進來。
    立刻有人回應:“說了說了!江工不知道請誰搗鼓出了一種移液器,能保證每滴液體體積的一致性……”
    蘭英博士緊盯著翁師傅的手,耳邊是研究員們壓低的、帶著緊張和關切的絮叨。
    其實,這些操作細節和注意事項,早已反複向翁師傅交代清楚。此刻的念叨,不過是關心則亂罷了。
    “噓!看!翁師傅動了!”
    所有的議論戛然而止。
    隻見翁師傅沒有像之前他們操作那樣,兩邊平台同時微調。而是幹脆的伸出手,在掩模版載物台的控製麵板上,利落地按下了“鎖定”按鈕!
    紅色的鎖定指示燈亮起。
    “他……他把掩模台鎖死了?”小關瞪大了眼睛,難以置信,“他隻調矽片台!”
    “這……這不是違背了操作流程?”有人皺眉。
    “操作流程是那小子寫的草案,他也沒實際用過。機器嘛,最終操作的是人!”
    蘭英博士沉聲道:“既然我們的總設計選擇了相信翁師傅,那就不要幹擾他!”
    其實蘭英博士的心也提到了嗓子眼,緊盯著翁師傅那雙被項目總工稱讚的手。
    隻不過從觀察室看過去,翁師傅像棵青鬆,站在機器前那是一動也沒動。
    但,就在他們看不見的地方,翁師傅那雙手正極其精準地操作著矽片載物台的控製器,動作幅度小到幾乎看不見,隻有控製台上幾個微米級精度的讀數在無聲地跳動。
    沒有去看壓力表,也沒有頻繁切換千分表,他的全部注意力似乎都凝聚在矽片載物台本身極其微妙的反饋上。
    整個實驗室落針可聞,隻剩下高壓汞燈鎮流器持續的低鳴和眾人壓抑的呼吸聲。
    一會功夫!翁師傅雙手離開載物台,看了看矽片的顯示溫度,又舉起了自己的右手,對著一旁的話筒說了什麽。
    外部觀察室隨即傳來翁師傅略帶沙啞的聲音:“矽片溫度達到設定需求!請求按流程執行下一步操作!”
    “這麽快!”蘭英博士驚愕的看了眼身後的同誌們,下意識地攥緊了拳頭,耳邊似乎還回響著自己剛才低聲說出的話:“既然選擇了相信……那就等結果吧。”
    “同意!請在達到要求的情況下,執行下一步操作!”
    開弓沒有回頭箭!
    翁師傅的手指在一個不起眼的按鈕上輕輕一點。
    嗡——!
    光刻機頂端,那盞代表著“執行”的高壓汞燈猛地爆發出刺眼的強光!光芒如同瞬逝的閃電,將整個實驗室映照得一片慘白,瞬間又歸於黑暗,隻留下視覺中殘留的光斑。
    汞燈特有的、帶著一絲紫外線的“味道”在空氣中短暫彌漫。
    翁師傅藏在墨鏡後麵的眼睛眯了眯,抽動鼻子:這個味道,好像小江工那個打印機打印東西時候的味道啊。
    小江工真厲害!啥都能設計出來!就是手藝磕磣了點……
    但,一想到那打印出來的東西,自己都要背。
    翁師傅原本嚴肅的老臉不由垮了下去。
    顯影結束!
    蘭英博士看著翁師傅的臉色不對勁,心裏就是咯噔一下,“壞了!”