第二十四章 光刻·實驗室裏的微光
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省分廠的光學實驗室,是用輕鋼棚改造的,四壁糊著兩層防塵布,地上鋪著防靜電膠墊,唯一的窗戶蒙著深色遮光膜,隻漏進一縷微弱的天光。
我站在棚中央,看著麵前的土法光刻台——這是陳曦博士的心血,用國產光學鏡片、自製感光膠和舊機床改造而成,金屬支架上還沾著未清理的焊錫,卻透著一股不服輸的硬氣。林靜的虛擬身影懸浮在光刻台旁,手裏拿著一枚矽片,她指尖輕點,投影出放大十倍的電路版圖,淡金色的線條在半空中鋪開,像一張精細的蛛網:“感光膠已經塗好了,接下來要曝光、顯影、蝕刻,每一步誤差都不能超過0.1微米。
陳曦已經算過,這台光刻台的精度能到1.4微米,足夠刻出霜花丙的柵極。”陳曦的虛擬身影也湊了過來,他推了推虛擬眼鏡,語氣帶著一絲緊張:“曝光時間是關鍵,太長會糊,太短刻不清晰。
我做了十次模擬,最佳時間是45秒,咱們得盯著計時器,一秒都不能差。”聶小紅搬來一台舊鬧鍾,放在光刻台邊,指針“滴答”作響,像在為即將開始的實驗倒計時:“我已經把實驗室的門反鎖了,外麵安排了暗哨,誰也別想進來搗亂。
典獄長,開始吧?”我深吸一口氣,戴上防靜電手套,小心翼翼地把矽片放在光刻台的載物台上。
遮光膜外傳來風卷黃沙的聲音,棚內卻靜得能聽見自己的心跳。顧驍站在門口,手裏握著對講機,隨時準備應對突發情況——上次省電子廠的人沒占到便宜,誰也說不準會不會再來搞破壞。
“開燈。”我輕聲說。陳曦按下開關,光刻台上方的紫外燈亮起,淡紫色的光籠罩著矽片,像一層薄紗。鬧鍾的指針開始轉動,45秒,像一個世紀那麽漫長。我死死盯著矽片,手心的汗透過手套滲出來,沾在載物台上。“10秒、9秒……3秒、2秒、1秒!關燈!”陳曦突然喊。
紫外燈熄滅,棚內重新陷入昏暗。林靜立刻遞來顯影液,我用滴管小心地滴在矽片上,液體順著矽片邊緣流下,漸漸顯露出淡褐色的電路紋路——線條清晰,沒有糊邊,柵極的寬度均勻得像用尺子量過。“成了!”聶小紅忍不住歡呼,聲音壓得極低,卻難掩興奮。
陳曦的虛擬身影晃了晃,語氣裏帶著激動:“快,送去蝕刻!隻要蝕刻成功,霜花丙的核心步驟就完成了!”蝕刻間就在隔壁棚,裏麵放著一台自製的蝕刻機,用硝酸和氫氟酸按比例調配的蝕刻液在玻璃槽裏泛著淡綠色的光。我把矽片放進蝕刻槽,看著電路紋路一點點變得清晰,心裏像揣了隻兔子,怦怦直跳。顧驍走進來,手裏拿著一份電報:“杜組長來電,軍工處催得緊,讓我們半個月內先交一千隻霜花丙,用於邊境通訊設備。”
“半個月?”聶小紅皺起眉,“現在每天隻能刻十片矽片,一千隻至少要一個月!”“能加快。”林靜突然開口,她投影出一張新的流程圖,“我們可以兩班倒,白天刻矽片,晚上蝕刻、蒸鋁,再把監獄裏的博士們都調過來,同步處理數據。另外,我發現感光膠可以提前一天塗好,放在恒溫箱裏保存,能省不少時間。”
我點頭,心裏有了主意:“聶小紅,你去調人,把縣城生產線的技術員調一半過來,再從黑市弄點氫氟酸,保證蝕刻液供應;顧驍,你跟杜組長說,半個月內一定交貨,但要他協調運輸,成品得用恒溫車送,不能凍壞;林靜、陳曦,你們負責優化流程,把每天的產量提到五十片。”接下來的半個月,光學實驗室成了不夜城。白天,紫外燈的淡紫色光透過遮光膜,在棚外映出一圈朦朧的光暈;夜裏,蝕刻機的“嗡嗡”聲、蒸鋁設備的“嘶嘶”聲,與鬧鍾的“滴答”聲交織在一起,像一首永不停歇的戰歌。
我和顧驍輪班守在棚裏,有時累得直接趴在光刻台邊睡,醒來繼續幹,眼睛裏布滿血絲,卻沒人喊停。有天淩晨,我正在蒸鋁,突然聽見外麵傳來異響。顧驍立刻抄起槍,衝了出去,沒過多久,他押著一個穿黑衣的人進來,那人手裏還攥著一瓶硫酸,瓶口冒著白煙——是省電子廠的人,想趁夜潑硫酸毀了光刻台。
“張廠長派你來的?”我盯著那人,語氣冷得像冰。那人哆哆嗦嗦地點頭,說不出一句完整的話。顧驍直接把他交給了保衛科,臨走前,他回頭看了一眼光刻台,眼神裏帶著後怕:“還好發現得早,不然咱們半個月的心血就全毀了。”
我握緊拳頭,心裏的火更旺了:“越有人想毀我們,我們越要做好!明天就是交期,咱們加把勁,一定要按時交貨!”交期那天清晨,第一千隻霜花丙封裝完成。我把它們裝進恒溫箱,鋁殼在晨光下泛著銀亮的光,像一千顆小小的星星。杜組長親自來接貨,看著恒溫箱裏的晶體管,他忍不住感歎:“沈墨同誌,你們創造了奇跡!沒有進口設備,沒有充足的原料,卻能在半個月內造出一千隻合格的軍工晶體管,省裏沒看錯你們!”我笑了,目光落在光學實驗室的方向——那裏的紫外燈還亮著,淡紫色的光透過遮光膜,像一縷不肯熄滅的微光。這微光,不僅照亮了實驗室,更照亮了我們自己造芯片的路。
“杜組長,這隻是開始。”我指著恒溫箱裏的霜花丙,“接下來,我們要把光刻精度提到1微米,要造更高級的芯片,要讓霜花的名字,傳遍全國。”風還在吹,卻吹不散我們心裏的火。光學實驗室的微光,正一點點匯聚成火炬,照亮了荒地上的希望。
